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冷场发射扫描电子显微镜与能谱分析
2015-01-20 |   |作者: 【关闭窗口】
    

仪器名称

冷场发射扫描电子显微镜与能谱分析

厂家型号

日立SU8020 

放置部门

公共测试平台 

放置地点

展览楼102 

管 理 员

周娜

仪器原值

3,09万元

联系电话

15810934920

Email

nzhou@ipe.ac.cn

功    能

超高分辨率扫描电子显微分析系统。 

技术参数指标

1.分辨率:二次电子(SE)像 15 kV1.0 nm1 kV1.4 nm (不采用减速模式情况下)  

2.放大倍率范围:20 1,000,000 根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准。 

3.加速电压:200V ~ 30kV,着陆电压:20V 30 kV 

4.电子枪:场发射电子枪。 

5.电子束流:0.6pA 200 nA,连续可调。 

6.束流稳定性:每10小时 < 0.4% 

7.配备电子束减速模式。 

8.物镜光阑:物镜光栏能自加热自清洁;无需拆卸镜筒即可更换。 

9.探测器  二次电子探头:普通二次电子检测器;极靴内二次电子探测器 (可探测二次电子、背散射电子和二者的混合像) ;镜头安装定向背散射电子探测器。 

10.配备牛津电制冷能谱仪。 

对外服务时间及收费

对外服务时间为周一至周五830—17:30,统一在中科院仪器平台上进行预约。 

收费标准: 400/小时 (所内)500/小时 (所外)  

价格说明:该设备配备二级真空系统,放样仅需1min,无需等待抽真空时间。EDS测试不再另外收费。 

             备注 

 

 
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